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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 【求助】硅纳米线transistor
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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FANYU

新虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】硅纳米线transistor 已有14人参与

请问有人用硅纳米线作过FET么？为什么我用E-beam铺上钛和金作source/drain之后用万能表去量不导电？我的纳米线是用AgNO3和HF在硅片上刻蚀出来的，钛金厚度是70/80纳米。

谢谢
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1楼 2010-08-25 17:29:12
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海珀山

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
送鲜花一朵
引用回帖:
2260549楼: Originally posted by FANYU at 2010-09-10 12:20:56:
用AFM扫过，看上去没啥问题，也没断，主要问题就是测不到电流。

你好，我想请教怎么将刻蚀的硅线弄下来，均匀稀疏地分散在基底上，我是放到乙醇里超两秒，滴到硅片上，看电镜，发现铺的很不均匀，而且好多都断了
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32楼2012-03-21 16:16:21
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lostpast

铁虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by FANYU at 2010-08-25 17:29:12:
请问有人用硅纳米线作过FET么？为什么我用E-beam铺上钛和金作source/drain之后用万能表去量不导电？我的纳米线是用AgNO3和HF在硅片上刻蚀出来的，钛金厚度是70/80纳米。

谢谢

AgNO3和HF能在硅片上刻蚀硅纳米线，太牛了。哪个大牛发明的？
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2楼2010-08-25 18:53:47
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manuscript

金虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
这个问题关注中...
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3楼2010-08-25 20:52:22
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FANYU

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
Originally posted by FANYU at 2010-08-25 17:29:12:
请问有人用硅纳米线作过FET么？为什么我用E-beam铺上钛和金作source/drain之后用万能表去量不导电？我的纳米线是用AgNO3和HF在硅片上刻蚀出来的，钛金厚度是70/80纳米。

谢谢

-_-!哥们学哪行的，这方法是几年前报道的了。
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4楼2010-08-26 09:39:16
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