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gamewang

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】用spin-coating做膜退火后出现裂痕?? 已有5人参与

我用甩胶法制作薄膜,可是退火后出现干裂的膜,怎么回事?有什么措施没?
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微信公众号:zajiadabing
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fxwjg

木虫 (正式写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
yunruirui(金币+1):谢谢参与 2010-08-19 15:35:31
可能是升温速率太快,还有可能基体表面没有处理干净。
2楼2010-08-19 12:11:52
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quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400


★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
也可能是太厚了
3楼2010-08-19 19:17:35
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gamewang

木虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by fxwjg at 2010-08-19 12:11:52:
可能是升温速率太快,还有可能基体表面没有处理干净。

8度每分钟 算快么?
微信公众号:zajiadabing
4楼2010-08-20 13:07:54
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gamewang

木虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by quanten at 2010-08-19 19:17:35:
也可能是太厚了

才几百纳米哦~~
微信公众号:zajiadabing
5楼2010-08-20 13:08:11
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quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400


★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
考虑旋涂程序,先慢然后高速
6楼2010-08-20 16:17:20
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wangfang2789

金虫 (正式写手)

★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
同问,最近做PZT,老是开裂,很是郁闷
7楼2010-08-20 21:52:41
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abooo

木虫 (著名写手)

★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
控制升温速率,8度不慢了,另外不知道退火到多少度
活着就是幸福~~!
8楼2010-08-21 09:15:38
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gamewang

木虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by abooo at 2010-08-21 09:15:38:
控制升温速率,8度不慢了,另外不知道退火到多少度

850度 十分钟~~
微信公众号:zajiadabing
9楼2010-08-21 09:30:13
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gamewang

木虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by quanten at 2010-08-20 16:17:20:
考虑旋涂程序,先慢然后高速

都是这么干的 呵呵
微信公众号:zajiadabing
10楼2010-08-21 09:30:43
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