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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】用spin-coating做膜退火后出现裂痕？？
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gamewang

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】用spin-coating做膜退火后出现裂痕？？ 已有5人参与

我用甩胶法制作薄膜，可是退火后出现干裂的膜，怎么回事？有什么措施没？
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微信公众号：zajiadabing
1楼 2010-08-19 09:50:52
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gamewang

木虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by fxwjg at 2010-08-19 12:11:52:
可能是升温速率太快，还有可能基体表面没有处理干净。

8度每分钟 算快么？
赞一下 回复此楼
微信公众号：zajiadabing
4楼2010-08-20 13:07:54
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fxwjg

木虫 (正式写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
yunruirui(金币+1):谢谢参与 2010-08-19 15:35:31
可能是升温速率太快，还有可能基体表面没有处理干净。
赞一下(2人) 回复此楼
2楼2010-08-19 12:11:52
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gamewang

木虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by quanten at 2010-08-19 19:17:35:
也可能是太厚了

才几百纳米哦~~
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微信公众号：zajiadabing
5楼2010-08-20 13:08:11
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quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
考虑旋涂程序，先慢然后高速
赞一下(1人) 回复此楼
6楼2010-08-20 16:17:20
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