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【求助】用spin-coating做膜退火后出现裂痕??
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专业: 半导体光电子器件
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【求助】用spin-coating做膜退火后出现裂痕??
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我用甩胶法制作薄膜,可是退火后出现干裂的膜,怎么回事?有什么措施没?
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1楼
2010-08-19 09:50:52
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abooo
木虫
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注册: 2007-08-05
性别: GG
专业: 高分子物理与高分子物理化
★
小木虫(金币
+0.5
):给个红包,谢谢回帖交流
控制升温速率,8度不慢了,另外不知道退火到多少度
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(1人)
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活着就是幸福~~!
8楼
2010-08-21 09:15:38
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