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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 信息科学 » 电子科学 » 【求助】晶体管中SiO2到底起一些什么作用
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weizhiyong

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】晶体管中SiO2到底起一些什么作用 已有9人参与

我们都知道做CPU芯片主要是使用单晶硅做的。除了硅之外还有一些金属做互联线，如早期的Al，目前的主流Cu。

最近看CPU的制造工艺，好像还要把硅氧化成非晶二氧化硅，来作门极。不是太了解。我觉二氧化硅应该是来做为绝缘层的吧？作门极是什么意识？而且为什么么要用非晶二氧化硅呢？为什么不用晶体二氧化硅呢？
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1楼 2010-08-12 10:34:55
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vinhxk

银虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
晶体二氧化硅有晶粒边界，反而容易形成某些漏电通道，影响器件工艺可控性
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12楼2014-10-15 10:33:20
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dblu985

铜虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
很有意义，大家发言啊
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2楼2010-08-15 23:59:52
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weizhiyong

金虫 (正式写手)
这里没有人懂这个嘛？
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3楼2010-08-16 08:47:51
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无奈的云

木虫 (著名写手)

科技信息经理

优秀版主
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
懂这些的人还是有的，只是没有发现这个帖子而已~~

楼主稍安勿躁~
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欢迎各位技术工作者提供技科学术转化信息线索！
4楼2010-08-16 11:29:54
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