| 查看: 596 | 回复: 3 | ||||
[交流]
【求助】LED芯片制作 已有2人参与
|
| 跪求哪位高人介绍一点做LED芯片的具体工艺流程资料，或者整个芯片制作的原理·······谢谢 只要有介绍相关资料的有金币奖励哦···！！ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 研究生 |
» 猜你喜欢
北京林业大学硕导招生广告
已经有4人回复
-
材料调剂
已经有7人回复
-
化学工程085602 305分求调剂
已经有10人回复
-
289求调剂
已经有15人回复
-
291 求调剂
已经有7人回复
-
274求调剂
已经有14人回复
-
309求调剂
已经有5人回复
-
292求调剂
已经有8人回复
-
求调剂
已经有4人回复
-
一志愿 西北大学 总分282 英语一62 求调剂
已经有3人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 还未涂荧光粉的蓝光LED芯片，都去哪里买啊
已经有13人回复
- 《蓝绿光LED芯片技术发展历程及展望》，做光电子的很有用
已经有344人回复
- LED芯片中ITO合金什么作用？
已经有20人回复
- 功能膜领域 将涌现一批高成长公司
已经有7人回复
- 求紫光LED芯片的色坐标
已经有23人回复
- 求资料：半导体LED发光材料的应用及生产工艺
已经有7人回复
- LED芯片和PSS生产需要使用的测量机台及其对应的测量项目
已经有6人回复
- 彩虹集团公司北京技术中心诚聘荧光材料工程师
已经有10人回复
- 本公司拟招聘从事LED芯片方面工作的人才，大家有认识的帮推荐下哦
已经有9人回复
- 【交流】是LED芯片技术含量高还是晶体硅太阳能电池片技术含量高
已经有29人回复
- 【分享】【毕业献礼】美的HR教你简历制作和面试笔试技巧【已搜索无重复】
已经有58人回复
2楼2010-08-09 18:53:02
林林007(金币+1): 2010-08-12 19:03:40
|
LED芯片制作流程分为两大部分。首先在衬底上制作氮化镓(CAN)基的外延片，这个过程主要是在金属有机化学气相沉积外延炉种完成的。准备好制作CaN基外延片所需的材料源和各种高纯的气体之后，按照工艺的要求就可以逐步把外延片做好。常用的衬底主要有蓝宝石、碳化硅和硅衬底，还有GaAs、AIN、ZnO等材料。MOCVD是利用气相反应物(前驱物)及Ⅲ族的有机金属和Ⅴ族的NH3在衬底表面进行反应，将所需的产物沉积在衬底表面，通过控制温度、压力、反应物浓度和种类比例，从而控制镀膜成分、晶相等品质。MOCVD外延炉是制作LED外延片最常用的设备。 接下来是对LED PN结的两个电极进行加工，电极加工也是制作LED芯片的关键工序。包括清洗、蒸镀、黄光、化学蚀刻、熔合、研磨;然后对LED毛片进行划片、测试和分选，就可以得到所学的LED芯片。如果晶片清洗不够干净，蒸镀系统不正常，会导致蒸镀出来的金属层(指蚀刻后的电极)会有脱落，金属层外观变色，金泡等异常。蒸镀过程中有时需要用弹簧夹固定晶片，因此会产生夹痕(在目录必须挑除)。黄光作业内容包括烘烤、上光阻、照相曝光、显影等，若显影不完全及光罩有破洞会有发光区残多出金属。晶片在前段制程种，各项制度如清洗、蒸镀、黄光、化学蚀刻、熔合、研磨等作业都必须使用镊子及花篮、载具等，因此会有晶粒电极刮伤情形发生! |
3楼2010-08-10 11:28:36
415131606
铁杆木虫 (文坛精英)
黑风堂堂主-小乖猪
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 5501.9
- 散金: 1764
- 红花: 11
- 沙发: 59
- 帖子: 11366
- 在线: 363.5小时
- 虫号: 375976
- 注册: 2007-05-19
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
4楼2010-12-22 18:01:51
