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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 晶体解析 » 【求助】XRD峰值和薄膜的厚度有关系吗？
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chenguang5895

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】XRD峰值和薄膜的厚度有关系吗？ 已有6人参与

我测试了XRD，发现峰值的变化很大。
峰值的变化和薄膜的厚度有关系吗？
请高手解答。
谢谢
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1楼 2010-08-04 12:29:49
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iphyaries

铁杆木虫 (小有名气)
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峰值跟你测量的方式有关，薄膜是用GID测的吗？入射角几度？
引用回帖:
Originally posted by chenguang5895 at 2010-08-04 12:29:49:
我测试了XRD，发现峰值的变化很大。
峰值的变化和薄膜的厚度有关系吗？
请高手解答。
谢谢

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Ineedlearnmore...
4楼2010-08-05 08:44:01
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iphyaries

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yanhualover:谢谢交流 2010-08-09 08:20:58
晕，入射角3度还说不是GID，你耦合扫描哪来的入射角？
引用回帖:
Originally posted by chenguang5895 at 2010-08-05 08:47:04:

我不是用的GID。入射角是3度。

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8楼2010-08-09 00:11:48
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iphyaries

铁杆木虫 (小有名气)
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grazing incident diffraction
低角度掠入射
因为薄膜测量如果用耦合对称扫描X光很容易打到衬底上
衬底的峰会掩盖薄膜的信号
因此采用GID，将入射角控制在低角度（从零点几度到几度不等，根据膜厚而定），然后做探测器扫描，实际上是个非对称扫描方式。
你既然从3度入射，应该是GID，而且膜的厚度还不是很薄那种
引用回帖:
Originally posted by chenguang5895 at 2010-08-10 13:26:24:


哈哈，我不明白什么是GID？

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10楼2010-08-10 18:49:48
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