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大海6097

铁杆木虫 (正式写手)

[交流] 【请教】做纳米器件需要什么仪器设备 已有18人参与

本人想做纳米器件方面的研究,但课题组没人做过,老师也没做过,现在想先了解下如果做这方面的实验的话,都需要哪些仪器和设备。谢谢!
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十方

新虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
icp/re 蒸镀 溅射 光刻 测试系统 探针台。。。。。想做好,价钱高高的贵
2楼2010-07-28 22:08:28
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Geoerge

铜虫 (初入文坛)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
大概得多少钱?
3楼2010-08-02 21:48:34
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nanohappyyou

金虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
了解的朋友,列上来?

1,蒸镀金属电极,什么信号,多少钱?
2,光刻,什么信号,多少钱?
3,探针台,什么信号,多少钱?

当然,最好是便宜的!
贵的是没顶的,呵呵。
4楼2010-08-03 08:38:05
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zhangc888

新虫 (初入文坛)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
磁控溅射 MOCVD 测试平台 AFM
5楼2010-08-16 17:30:28
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wangyd99

木虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
还有超净室。
要是全部新建的话,没有上亿的钱是没有办法开展工作的。
6楼2010-08-31 09:41:59
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xiao7

银虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
嗯,这个东西,至少至少也要上亿。
光维持一个超净室就需要无数的钱。

蒸度还比较便宜,几十万。溅射好像很贵。
CVD便宜,管式炉万把块,但干不了什么好活。MOCVD贵。
AFM好像不是特别贵,相比SEM应该便宜。
光刻机,贵。
探针台,不太贵。
这些东西,怎么说也要一两千万吧。不清楚。
7楼2010-08-31 10:06:31
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xiao7

银虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
其实可以参照北大彭练矛,我记得当时他到北大的时候,纠集了2000万的基金,搞纳米器件。当然也不是说这么多钱就够了,要整全套的,没个十年八年的持续基金投入搞不定。
8楼2010-08-31 10:09:07
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hqzhou0817

金虫 (著名写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
[quote]Originally posted by nanohappyyou at 2010-08-03 08:38:05:
了解的朋友,列上来?

1,蒸镀金属电极,什么信号,多少钱?
2,光刻,什么信号,多少钱?
3,探针台,什么信号,多少钱?

并不一定要探针台,

蒸镀电极可以采用平常的热蒸镀系统,在中科科仪有卖,大概7万元,但貌似原装的不是十分好用,可以组装成热蒸镀的。。。
海纳百川,有容乃大。壁立千仞,无欲则刚!
9楼2010-09-01 20:44:48
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woshiadu

禁虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
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10楼2010-09-04 20:57:53
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