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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 【请教】做纳米器件需要什么仪器设备
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大海6097

铁杆木虫 (正式写手)

[交流] 【请教】做纳米器件需要什么仪器设备 已有18人参与

本人想做纳米器件方面的研究，但课题组没人做过，老师也没做过，现在想先了解下如果做这方面的实验的话，都需要哪些仪器和设备。谢谢！
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1楼 2010-07-28 10:56:50
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xiao7

银虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
嗯，这个东西，至少至少也要上亿。
光维持一个超净室就需要无数的钱。

蒸度还比较便宜，几十万。溅射好像很贵。
CVD便宜，管式炉万把块，但干不了什么好活。MOCVD贵。
AFM好像不是特别贵，相比SEM应该便宜。
光刻机，贵。
探针台，不太贵。
这些东西，怎么说也要一两千万吧。不清楚。
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7楼2010-08-31 10:06:31
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十方

新虫 (小有名气)
★
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icp/re 蒸镀 溅射 光刻 测试系统 探针台。。。。。想做好，价钱高高的贵
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2楼2010-07-28 22:08:28
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nanohappyyou

金虫 (正式写手)
★
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了解的朋友，列上来？

1，蒸镀金属电极，什么信号，多少钱？
2，光刻，什么信号，多少钱？
3，探针台，什么信号，多少钱？

当然，最好是便宜的！
贵的是没顶的，呵呵。
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4楼2010-08-03 08:38:05
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zhangc888

新虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
磁控溅射 MOCVD 测试平台 AFM
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5楼2010-08-16 17:30:28
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