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gamewang

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】用P2O5进行掺杂怎么弄?已有9人参与

我想用五氧化二磷对硅片掺杂,不用溅射(对腔体有污染),用化学的方法如何做?工艺是什么?希望赐教~~
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捣铃儿

新虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
7楼: Originally posted by hcdwy at 2010-07-30 09:44:16
五氧化二磷溶解于异丙醇中,涂刷于清洗后的硅片表面,然后扩散就OK了

五氧化二磷和异丙醇不是也反应吗
16楼2021-07-22 15:18:09
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exciton-wu

木虫 (正式写手)

★ ★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
小木虫:)(金币+3):3q 2010-07-21 21:21:22
简单的做法,将硅片与五氧化二磷封在抽真空的石英管中,热处理。
需要设备的方法,试试磷离子注入吧

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我有三宝,持而保之.一曰慈,二曰俭,三曰不敢为天下先---道德经
2楼2010-07-21 10:42:03
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gamewang

木虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by exciton-wu at 2010-07-21 10:42:03:
简单的做法,将硅片与五氧化二磷封在抽真空的石英管中,热处理。
需要设备的方法,试试磷离子注入吧

化学的方法 不知道怎么弄呢,,,
微信公众号:zajiadabing
3楼2010-07-22 08:18:14
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lenny1123

★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
小木虫:)(金币+2):3q 2010-07-24 00:20:18
这个很简单的。用磷纸(现在一般都是进口的)附在硅片上,热处理就可以的了。
这是半导体工艺上,常用的方法之一。

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4楼2010-07-22 08:54:07
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