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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 新能源材料 » 【求助】用P2O5进行掺杂怎么弄？
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gamewang

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】用P2O5进行掺杂怎么弄？ 已有9人参与

我想用五氧化二磷对硅片掺杂，不用溅射（对腔体有污染），用化学的方法如何做？工艺是什么？希望赐教～～
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微信公众号：zajiadabing
1楼 2010-07-21 09:11:19
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朋鸟

木虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by lenny1123 at 2010-07-22 08:54:07
这个很简单的。用磷纸（现在一般都是进口的）附在硅片上，热处理就可以的了。
这是半导体工艺上，常用的方法之一。

请问用这种方法，热处理温度大概是多少？
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13楼2018-07-03 01:32:55
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exciton-wu

木虫 (正式写手)
★ ★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
小木虫:)(金币+3):3q 2010-07-21 21:21:22
简单的做法，将硅片与五氧化二磷封在抽真空的石英管中，热处理。
需要设备的方法，试试磷离子注入吧
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» 本帖已获得的红花（最新10朵）

朋鸟
我有三宝，持而保之.一曰慈，二曰俭，三曰不敢为天下先---道德经
2楼2010-07-21 10:42:03
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gamewang

木虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by exciton-wu at 2010-07-21 10:42:03:
简单的做法，将硅片与五氧化二磷封在抽真空的石英管中，热处理。
需要设备的方法，试试磷离子注入吧

化学的方法 不知道怎么弄呢，，，
赞一下 回复此楼
微信公众号：zajiadabing
3楼2010-07-22 08:18:14
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lenny1123

★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
小木虫:)(金币+2):3q 2010-07-24 00:20:18
这个很简单的。用磷纸（现在一般都是进口的）附在硅片上，热处理就可以的了。
这是半导体工艺上，常用的方法之一。
赞一下(2人) 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

朋鸟
4楼2010-07-22 08:54:07
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