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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 新能源材料 » 【求助】用P2O5进行掺杂怎么弄？
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gamewang

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】用P2O5进行掺杂怎么弄？已有9人参与

我想用五氧化二磷对硅片掺杂，不用溅射（对腔体有污染），用化学的方法如何做？工艺是什么？希望赐教～～
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微信公众号：zajiadabing
1楼2010-07-21 09:11:19
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朋鸟

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2楼: Originally posted by exciton-wu at 2010-07-21 10:42:03
简单的做法，将硅片与五氧化二磷封在抽真空的石英管中，热处理。
需要设备的方法，试试磷离子注入吧

请问，我想用五氧化二磷对硅颗粒掺杂，请问热处理温度大概多少？有没有资料可以参考的？
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12楼2018-07-03 01:32:06
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朋鸟

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4楼: Originally posted by lenny1123 at 2010-07-22 08:54:07
这个很简单的。用磷纸（现在一般都是进口的）附在硅片上，热处理就可以的了。
这是半导体工艺上，常用的方法之一。

请问用这种方法，热处理温度大概是多少？
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13楼2018-07-03 01:32:55
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朋鸟

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7楼: Originally posted by hcdwy at 2010-07-30 09:44:16
五氧化二磷溶解于异丙醇中，涂刷于清洗后的硅片表面，然后扩散就ＯＫ了

请问这种方法不需要热处理吗？
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14楼2018-07-03 01:33:22
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朋鸟

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7楼: Originally posted by hcdwy at 2010-07-30 09:44:16
五氧化二磷溶解于异丙醇中，涂刷于清洗后的硅片表面，然后扩散就ＯＫ了

请问五氧化二磷在异丙醇的溶解度多少？我称了1g五氧化二磷，置于60ml异丙醇中，发现五氧化二磷始终不溶，呈悬浮液状
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15楼2018-11-21 17:09:10
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