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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 新能源材料 » 【求助】用P2O5进行掺杂怎么弄？
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gamewang

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】用P2O5进行掺杂怎么弄？已有9人参与

我想用五氧化二磷对硅片掺杂，不用溅射（对腔体有污染），用化学的方法如何做？工艺是什么？希望赐教～～
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微信公众号：zajiadabing
1楼2010-07-21 09:11:19
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exciton-wu

木虫 (正式写手)
★ ★ ★ ★
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小木虫:)(金币+3):3q 2010-07-21 21:21:22
简单的做法，将硅片与五氧化二磷封在抽真空的石英管中，热处理。
需要设备的方法，试试磷离子注入吧
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朋鸟
我有三宝，持而保之.一曰慈，二曰俭，三曰不敢为天下先---道德经
2楼2010-07-21 10:42:03
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gamewang

木虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by exciton-wu at 2010-07-21 10:42:03:
简单的做法，将硅片与五氧化二磷封在抽真空的石英管中，热处理。
需要设备的方法，试试磷离子注入吧

化学的方法 不知道怎么弄呢，，，
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微信公众号：zajiadabing
3楼2010-07-22 08:18:14
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lenny1123

★ ★ ★
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小木虫:)(金币+2):3q 2010-07-24 00:20:18
这个很简单的。用磷纸（现在一般都是进口的）附在硅片上，热处理就可以的了。
这是半导体工艺上，常用的方法之一。
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朋鸟
4楼2010-07-22 08:54:07
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gamewang

木虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by lenny1123 at 2010-07-22 08:54:07:
这个很简单的。用磷纸（现在一般都是进口的）附在硅片上，热处理就可以的了。
这是半导体工艺上，常用的方法之一。

进口的好贵～～～～
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5楼2010-07-23 14:52:43
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orchid8299

金虫 (正式写手)
★
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Originally posted by lenny1123 at 2010-07-22 08:54:07:
这个很简单的。用磷纸（现在一般都是进口的）附在硅片上，热处理就可以的了。
这是半导体工艺上，常用的方法之一。

用磷纸行吗？我们一直用液态的三氯氧磷，不过很毒，每次做实验，眼睛和喉咙都受不了。。不知道你说的这个磷纸能做电池扩散制结吗？就是形成pn结。哪里能买得到这个？
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6楼2010-07-29 17:08:30
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hcdwy

木虫 (小有名气)
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小木虫:)(金币+3):3q 2010-08-05 17:20:45
五氧化二磷溶解于异丙醇中，涂刷于清洗后的硅片表面，然后扩散就ＯＫ了
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朋鸟
新建的OJ二极管技术交流群125904983 OJ二极管芯片的清洗、扩散、封装测试相关的技术交流， 欢迎各位同行加入。
7楼2010-07-30 09:44:16
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gamewang

木虫 (著名写手)
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Originally posted by hcdwy at 2010-07-30 09:44:16:
五氧化二磷溶解于异丙醇中，涂刷于清洗后的硅片表面，然后扩散就ＯＫ了

溶于水中可以吗？
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8楼2010-07-30 11:49:07
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hcdwy

木虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
不可以，五氧化二磷在水中会起化学反应的
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新建的OJ二极管技术交流群125904983 OJ二极管芯片的清洗、扩散、封装测试相关的技术交流， 欢迎各位同行加入。
9楼2010-08-04 10:10:31
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knightshui

木虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
请问哪里能买到磷纸和硼纸，多谢了。
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我是棵树
10楼2012-03-24 09:26:59
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