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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】用20%NaOH腐蚀硅片怎么这样（有图）
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gamewang

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】用20%NaOH腐蚀硅片怎么这样（有图）已有9人参与

我用20%的氢氧化钠在80度下腐蚀n型的硅片一个小时，用光学显微镜观察的结果如图所示，怎么是斑斑点点的，并且从表面肉眼观察反光的比较厉害，怎么会这样？不应该是黑一些的么？而且表面好像有一层熔融状的透明物质，用盐酸都煮不掉，如何调整工艺？卡住好久了，谢谢您帮我解答～
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微信公众号：zajiadabing
1楼2010-07-20 20:35:22
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焦天鹏

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
您好，我现在也在做KOH腐蚀减薄硅片的工作，我最近看到了这个帖子，我想请教一下，强碱性腐蚀以后，硅表面的那层熔融状的物质是什么，怎么能够去除掉。
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16楼2014-08-03 16:36:25
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stao4312

木虫 (著名写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
yunruirui(金币+1):谢谢交流，欢迎常来 2010-07-22 13:03:45
氢氧化钠碱性太强，腐蚀过程中最好加一些缓蚀剂保护硅片
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2楼2010-07-20 21:14:08
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aweng

银虫 (正式写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
yunruirui(金币+1):谢谢参与，欢迎常来 2010-07-22 13:03:56
这是光学显微镜的照片吧，如果是纯的NaOH溶液的话，基本上就是这个样子的，二楼说的对，要在溶液中下功夫才对。除了缓释剂之外，温度，时间等条件也要摸索。
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3楼2010-07-20 22:28:54
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lenny1123

★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
如果想得到粗糙的硅表面，不妨参照太阳能电池的制备工艺，用NaOH和乙醇的溶液，再用HF清洗表面。
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4楼2010-07-21 08:13:59
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