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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 电化学 » 电分析测试 » 【求助】表征薄膜成分及其含量有多少种方法
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anyupenglilin

铜虫 (小有名气)

[交流] 【求助】表征薄膜成分及其含量有多少种方法 已有8人参与

请教各位大侠：表征薄膜成分及其含量的有多少种方法啊？各种方法的优缺点都是什么呢？谢谢了！我的膜是氧化物薄膜。
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1楼 2010-07-15 10:27:28
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haoyupeng2002

铁虫 (初入文坛)

这个PPT在网上找到的，你参考一下吧

★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
我是做金属薄膜的，多多交流哈
http://d.namipan.com/d/0456d6691 ... 3268929ae67000c0500
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2楼2010-07-17 22:27:31
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daodao1583

木虫 (正式写手)

小木虫
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
扫面膜层截面SEM 配EDX，看元素分布，element profile
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~~~绿了枇杷，红了梨花~~~
3楼2010-07-18 15:04:15
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anyupenglilin

铜虫 (小有名气)
谢谢各位！
但是我的纳米盘不好使，麻烦2楼发我邮箱好吗，谢谢！
ananyrx@163.com
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4楼2010-07-19 08:05:46
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李欢12

新虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
TEM 捎带EDS，或者XPS
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5楼2010-07-19 08:11:12
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anyupenglilin

铜虫 (小有名气)
谢谢各位！
但是我的纳米盘不好使，麻烦2楼发我邮箱好吗，谢谢！
ananyrx@163.com
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6楼2010-07-20 08:36:20
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dongjinkuang

金虫 (小有名气)
xrd可以做
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7楼2011-08-01 10:45:20
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gretl

铁虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
xrd做分析有局限性，除非薄膜的晶型很好，才可以得到相应的xrd衍射，对于氧化物来说，晶型较差，除非高温处理，但是高温处理后的膜容易从基底上脱落。 ICP相对来说好些，通过icp可以进行定量定性分析。
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8楼2011-08-01 13:18:15
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wuxinbing

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
1楼: Originally posted by anyupenglilin at 2010-07-15 10:27:28:
请教各位大侠：表征薄膜成分及其含量的有多少种方法啊？各种方法的优缺点都是什么呢？谢谢了！我的膜是氧化物薄膜。

你好!你发的那个下载不下来，麻烦您发我邮箱wuxinbing136@126.com  谢谢啊
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活着就是为了折腾
9楼2011-08-09 09:58:56
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zlaisyy9528

铁杆木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
这种测试方法很多，XRD\XPS\IR\RAMAN,这些都只能定性不能定量，
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10楼2011-08-11 11:40:22
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