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anyupenglilin

铜虫 (小有名气)

[交流] 【求助】表征薄膜成分及其含量有多少种方法 已有8人参与

请教各位大侠:表征薄膜成分及其含量的有多少种方法啊?各种方法的优缺点都是什么呢?谢谢了!我的膜是氧化物薄膜。
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gretl

铁虫 (初入文坛)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
xrd做分析有局限性,除非薄膜的晶型很好,才可以得到相应的xrd衍射,对于氧化物来说,晶型较差,除非高温处理,但是高温处理后的膜容易从基底上脱落。 ICP相对来说好些,通过icp可以进行定量定性分析。
8楼2011-08-01 13:18:15
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