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anyupenglilin

铜虫 (小有名气)

[交流] 【求助】表征薄膜成分及其含量有多少种方法 已有8人参与

请教各位大侠:表征薄膜成分及其含量的有多少种方法啊?各种方法的优缺点都是什么呢?谢谢了!我的膜是氧化物薄膜。
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haoyupeng2002

铁虫 (初入文坛)

这个PPT在网上找到的,你参考一下吧


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
我是做金属薄膜的,多多交流哈
http://d.namipan.com/d/0456d6691 ... 3268929ae67000c0500
2楼2010-07-17 22:27:31
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daodao1583

木虫 (正式写手)

小木虫


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
扫面膜层截面SEM 配EDX,看元素分布,element profile
~~~绿了枇杷,红了梨花~~~
3楼2010-07-18 15:04:15
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anyupenglilin

铜虫 (小有名气)

谢谢各位!
但是我的纳米盘不好使,麻烦2楼发我邮箱好吗,谢谢!
ananyrx@163.com
4楼2010-07-19 08:05:46
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李欢12

新虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
TEM 捎带EDS,或者XPS
5楼2010-07-19 08:11:12
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anyupenglilin

铜虫 (小有名气)

谢谢各位!
但是我的纳米盘不好使,麻烦2楼发我邮箱好吗,谢谢!
ananyrx@163.com
6楼2010-07-20 08:36:20
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dongjinkuang

金虫 (小有名气)

xrd可以做
7楼2011-08-01 10:45:20
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gretl

铁虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
xrd做分析有局限性,除非薄膜的晶型很好,才可以得到相应的xrd衍射,对于氧化物来说,晶型较差,除非高温处理,但是高温处理后的膜容易从基底上脱落。 ICP相对来说好些,通过icp可以进行定量定性分析。
8楼2011-08-01 13:18:15
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wuxinbing

木虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
1楼: Originally posted by anyupenglilin at 2010-07-15 10:27:28:
请教各位大侠:表征薄膜成分及其含量的有多少种方法啊?各种方法的优缺点都是什么呢?谢谢了!我的膜是氧化物薄膜。

你好!你发的那个下载不下来,麻烦您发我邮箱wuxinbing136@126.com  谢谢啊
活着就是为了折腾
9楼2011-08-09 09:58:56
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zlaisyy9528

铁杆木虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
这种测试方法很多,XRD\XPS\IR\RAMAN,这些都只能定性不能定量,
10楼2011-08-11 11:40:22
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