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mei75302

新虫 (初入文坛)

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[交流] 【求助】关于衬底加热的已有2人参与

想问下磁控溅射的时候衬底一般可以连续加热多长时间呀？？？？？？
担心加的太长了仪器会受不了，，
如果想加热三小时，，是不是最好每隔一个小时停十几分钟呀？？、、、
顺便再问下铝箔纸熔点大概是多少？？？我担心加到500，，600度会不会就熔掉了，，，

O(∩_∩)O请各位大侠帮帮忙《《《《O(∩_∩)O谢谢！！！！！

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1楼 2010-07-15 01:49:01

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haode22

金虫 (正式写手)

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性别: GG
专业: 半导体材料

★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流

具体材料的加热温度和时间不一样，但是有一点很重要，在溅射时加热的电压不要太高，最好在100V一下，不然溅射时容易短路。

赞一下(1人)

逐渐成为工作狂，技术狂.............

2楼2010-07-15 14:59:10

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mei75302

新虫 (初入文坛)

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引用回帖:

Originally posted by haode22 at 2010-07-15 14:59:10:
具体材料的加热温度和时间不一样，但是有一点很重要，在溅射时加热的电压不要太高，最好在100V一下，不然溅射时容易短路。

嗯，，谢谢回复，，，
顺便问下您知道铝箔纸大概温度到多少就会熔化呀？？？？
O(∩_∩)O谢谢！！！！！

3楼2010-07-16 15:57:12

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