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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 【求助】请教PLD抽真空的问题
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pk5174530

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】请教PLD抽真空的问题 已有4人参与

昨天用PLD法镀膜，实验结束后，真空腔内的压强为6Pa，关掉机械泵约5min钟后气压自动回复到20Pa，这种情况是属于正常情况吗？平时做实验都没注意，关了仪器就走了，这次发现这样的情况自己不确定是否正常...
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1楼 2010-06-24 15:24:07
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hrandy

金虫 (正式写手)
★
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系统漏气太快了，如果楼主的数据是准确的，那么使用分子泵系统极限真空应该在10-2Pa级别，背底真空度太低，系统基本不可用。
可以检查一下是不是哪儿没有密封好，一般使用O环密封可以达到10-6Pa级别。
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6楼2010-06-25 15:00:00
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ftfxiaoyu

木虫 (正式写手)
再等一段时间看气压上升的速度。
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2楼2010-06-24 17:39:40
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bryano

木虫 (正式写手)
★
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机械泵开着最大能力大概也就到5Pa左右吧，所以关了会真空度降低，应该正常，这跟真空腔的密封性有很大关系。楼主用的真空系统是沈科仪的？
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3楼2010-06-25 03:03:25
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ftfxiaoyu

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
要看是用什么泵，如果做PLD，应该极限真空会用分子泵抽
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4楼2010-06-25 11:40:21
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