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pk5174530

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】请教PLD抽真空的问题 已有4人参与

昨天用PLD法镀膜,实验结束后,真空腔内的压强为6Pa,关掉机械泵约5min钟后气压自动回复到20Pa,这种情况是属于正常情况吗?平时做实验都没注意,关了仪器就走了,这次发现这样的情况自己不确定是否正常...
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ftfxiaoyu

木虫 (正式写手)

再等一段时间看气压上升的速度。
2楼2010-06-24 17:39:40
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bryano

木虫 (正式写手)


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机械泵开着最大能力大概也就到5Pa左右吧,所以关了会真空度降低,应该正常,这跟真空腔的密封性有很大关系。楼主用的真空系统是沈科仪的?
3楼2010-06-25 03:03:25
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ftfxiaoyu

木虫 (正式写手)


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要看是用什么泵,如果做PLD,应该极限真空会用分子泵抽
4楼2010-06-25 11:40:21
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pk5174530

金虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by bryano at 2010-06-25 03:03:25:
机械泵开着最大能力大概也就到5Pa左右吧,所以关了会真空度降低,应该正常,这跟真空腔的密封性有很大关系。楼主用的真空系统是沈科仪的?

真空系统是沈阳市超高真空应用技术研究所的。主要是真空度下降会不会太快了,关了机械泵10min就能达到100Pa。
5楼2010-06-25 12:24:56
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hrandy

金虫 (正式写手)


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系统漏气太快了,如果楼主的数据是准确的,那么使用分子泵系统极限真空应该在10-2Pa级别,背底真空度太低,系统基本不可用。
可以检查一下是不是哪儿没有密封好,一般使用O环密封可以达到10-6Pa级别。
6楼2010-06-25 15:00:00
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bryano

木虫 (正式写手)


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检查一下开分子泵的极限背底真空能到多少吧。能到10^(-4)Pa量级就可以接受,否则就该修理一下了。
7楼2010-07-19 07:49:12
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