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【求助】请教PLD抽真空的问题 已有4人参与
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| 昨天用PLD法镀膜，实验结束后，真空腔内的压强为6Pa，关掉机械泵约5min钟后气压自动回复到20Pa，这种情况是属于正常情况吗？平时做实验都没注意，关了仪器就走了，这次发现这样的情况自己不确定是否正常... |
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