24小时热门版块排行榜    

查看: 1294  |  回复: 6

pk5174530

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】请教PLD抽真空的问题 已有4人参与

昨天用PLD法镀膜,实验结束后,真空腔内的压强为6Pa,关掉机械泵约5min钟后气压自动回复到20Pa,这种情况是属于正常情况吗?平时做实验都没注意,关了仪器就走了,这次发现这样的情况自己不确定是否正常...
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ftfxiaoyu

木虫 (正式写手)

再等一段时间看气压上升的速度。
2楼2010-06-24 17:39:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bryano

木虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
机械泵开着最大能力大概也就到5Pa左右吧,所以关了会真空度降低,应该正常,这跟真空腔的密封性有很大关系。楼主用的真空系统是沈科仪的?
3楼2010-06-25 03:03:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ftfxiaoyu

木虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
要看是用什么泵,如果做PLD,应该极限真空会用分子泵抽
4楼2010-06-25 11:40:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

pk5174530

金虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by bryano at 2010-06-25 03:03:25:
机械泵开着最大能力大概也就到5Pa左右吧,所以关了会真空度降低,应该正常,这跟真空腔的密封性有很大关系。楼主用的真空系统是沈科仪的?

真空系统是沈阳市超高真空应用技术研究所的。主要是真空度下降会不会太快了,关了机械泵10min就能达到100Pa。
5楼2010-06-25 12:24:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hrandy

金虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
系统漏气太快了,如果楼主的数据是准确的,那么使用分子泵系统极限真空应该在10-2Pa级别,背底真空度太低,系统基本不可用。
可以检查一下是不是哪儿没有密封好,一般使用O环密封可以达到10-6Pa级别。
6楼2010-06-25 15:00:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bryano

木虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
检查一下开分子泵的极限背底真空能到多少吧。能到10^(-4)Pa量级就可以接受,否则就该修理一下了。
7楼2010-07-19 07:49:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 pk5174530 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 关于filecode,很负责任的告诉大家 +6 爱看书的可乐 2026-08-08 7/350 2026-08-08 22:13 by a_niu
[基金申请] 关于豆爷回答的JTJC与%2F数量 +5 yang182083 2026-08-06 7/350 2026-08-08 18:29 by zhanghaozhu
[基金申请] 国基金的申报应该改成非等额制,评价高的钱多评价低的钱少,但是增加资助率 +7 a089 2026-08-07 7/350 2026-08-08 18:05 by gltch
[公派出国] 售SCI文章,我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 qTvzQBRAHjCi 2026-08-07 4/200 2026-08-08 17:27 by oEVWOejN9taj
[基金申请] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 qTvzQBRAHjCi 2026-08-07 5/250 2026-08-08 17:02 by oEVWOejN9taj
[考研] 售SCI一区T0P文章,我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 qTvzQBRAHjCi 2026-08-07 5/250 2026-08-08 16:47 by oEVWOejN9taj
[论文投稿] 售SCI一区文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 Vi50GxzrFcSG 2026-08-07 6/300 2026-08-08 15:07 by oEVWOejN9taj
[基金申请] fileCode有新解读? +9 Tide man 2026-08-08 17/850 2026-08-08 14:56 by archvillain
[硕博家园] 售SCI一区文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +4 HEQlVqMTIA7d 2026-08-07 6/300 2026-08-08 14:47 by oEVWOejN9taj
[公派出国] 售SCI文章,我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 HEQlVqMTIA7d 2026-08-07 6/300 2026-08-08 14:39 by oEVWOejN9taj
[基金申请] 售SCI-T0P文章,我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 KXLV3nuBVBY7 2026-08-07 5/250 2026-08-08 14:07 by oEVWOejN9taj
[教师之家] 售SCI一区文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 KXLV3nuBVBY7 2026-08-07 5/250 2026-08-08 14:07 by oEVWOejN9taj
[基金申请] 基金中了 +14 laoda193707 2026-08-06 14/700 2026-08-08 00:23 by 实验小白ha
[基金申请] 关于filecode +4 布布和一二 2026-08-07 7/350 2026-08-07 22:55 by zhanghaozhu
[基金申请] 固定端突然变了,今天 +6 archvillain 2026-08-06 10/500 2026-08-07 16:03 by 医学老男孩
[基金申请] filecode变化情况 +6 布布和一二 2026-08-07 22/1100 2026-08-07 14:45 by 且听虎啸
[基金申请] 大家散了吧,后缀研究没有意义,别浪费时间了,过好目前的每一天,不要焦虑 +5 Tide man 2026-08-06 7/350 2026-08-07 13:11 by 医学老男孩
[基金申请] 好消息?这个有何含义??? +8 Tide man 2026-08-05 10/500 2026-08-05 16:14 by xmuxiaoyu
[基金申请] 纯娱乐,不喜欢勿喷 +7 Tide man 2026-08-04 10/500 2026-08-04 15:10 by loufangrui
[基金申请] 什么时候能放榜呀? +3 Jacob678 2026-08-03 3/150 2026-08-03 16:14 by gltch
信息提示
请填处理意见