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【交流】薄膜退火
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tzhcom
铜虫
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[交流]
【交流】薄膜退火
已有6人参与
不知道做铁电薄膜,磁性薄膜,在热处理的时候都要求退火,退火到底是什么作用?
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1楼
2010-06-16 13:33:57
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木子小木虫
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小木虫(金币
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改善薄膜的结晶状态
有利于释放薄膜中的应力
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3楼
2010-06-16 18:37:42
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phyer
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小木虫(金币
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改善薄膜的结构啊
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2楼
2010-06-16 17:46:22
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hustqy
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):给个红包,谢谢回帖交流
那要看你用什么方法做膜
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加油@@
4楼
2010-06-19 22:24:38
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tzhcom
铜虫
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Originally posted by
hustqy
at 2010-06-19 22:24:38:
那要看你用什么方法做膜
sol-gol法
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5楼
2010-06-24 14:37:17
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