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msie

银虫 (小有名气)

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[交流] 【求助】请教离子注入深度的测量方法已有5人参与

衬底是Si片，请问做过离子注入的老师和同学，注入的实际深度有什么方法去测量啊？多谢！

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1楼 2010-06-09 15:37:21

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buaa2118

新虫 (小有名气)

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★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流

实验没做过，不过有个软件模拟哦软件名 SRIM

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3楼2011-03-27 19:45:48

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qjh445

新虫 (初入文坛)

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专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

~~

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nuaajsh(金币+1): 鼓励交流 2011-03-21 15:23:54

RBS,或全息辐射谱

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2楼2011-03-21 13:56:50

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doesun

新虫 (小有名气)

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小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流

我们很多客户用TEM看离子注入的损伤.

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DOESUN中国首家透射电镜截面制样商 15800691931

4楼2011-03-27 20:50:32

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zhonghua210

木虫 (正式写手)

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★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

SIMS TEM线扫 XPS深剖都可以看的

好好学习，天天向上

6楼2013-06-18 13:28:10

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