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msie

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】请教离子注入深度的测量方法 已有5人参与

衬底是Si片,请问做过离子注入的老师和同学,注入的实际深度有什么方法去测量啊?多谢!
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qjh445

新虫 (初入文坛)

~~


nuaajsh(金币+1): 鼓励交流 2011-03-21 15:23:54
RBS,或全息辐射谱
2楼2011-03-21 13:56:50
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buaa2118

新虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
实验没做过,不过有个软件模拟哦 软件名 SRIM
3楼2011-03-27 19:45:48
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doesun

新虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
我们很多客户用TEM看离子注入的损伤.
DOESUN中国首家透射电镜截面制样商 15800691931
4楼2011-03-27 20:50:32
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zpawl

铜虫 (小有名气)

5楼2013-05-07 16:36:00
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zhonghua210

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
SIMS TEM线扫 XPS深剖都可以看的
好好学习,天天向上
6楼2013-06-18 13:28:10
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