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【求助】请教离子注入深度的测量方法 已有5人参与
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| 衬底是Si片，请问做过离子注入的老师和同学，注入的实际深度有什么方法去测量啊？多谢！ |
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2楼2011-03-21 13:56:50
buaa2118
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zhonghua210
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6楼2013-06-18 13:28:10
40