24小时热门版块排行榜    

查看: 4893  |  回复: 31

fe77021

金虫 (小有名气)

[交流] 【请教】请教扫描电镜调焦问题 已有28人参与

系里面买了一个日立s4800的场发射扫描电镜,按说此仪器很好,能够放到到10万倍应该没有问题。实际情况在放大2万倍左右很方便的拍出图片,可是一旦到5万倍图片就模糊不清楚,10万倍更是拍出图片不能用。在每次聚焦时候图形乱晃动,好像是聚焦不好的样子。现在害的我只能去外校一个最大放到2万倍的地方测扫描。有没有这方面有经验的虫友指教一下,谢谢啊!值得说明的是,我系s4800一般用电压1千伏,外校2万伏。不知道和这个有没有关系。上两张图,帮忙分析一下。这张是我系的:

这张外校的
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

SEM资料汇编

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

wtskjen

金虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
fe77021,  

Yes, most of the above comments are helpful.  Make sure that you have good conductivity as much as you can.   If you are using conductive carbon tape to secure your sample, you can add some silver/carbon paint at the edge of the sample to provide better conductivity.  You can even use the 0.5kV on Hitachi s-4800.   This is the beauty of the s-4800.  Not only that, you can change the beam current.  Most of the time Ie=15-20mA are used.  However, for your samplle, I will recommend that you can even reduce to 2-5mA to reduce the beam current/heat to avoid overheat/shift your sample.  Lower down the working distance (WD) will give you better resolution.

One more thing, you can change the pixels of the photo to enhance the image quality (1280 button vs 2560 button).  

After saying all of these, I would say the most important issues are the alignment and astigmatism control.  You might think you already adjusted the stigmators correctly but they are not.   After adjusting the focus, you need to go back to adjust the stigmators again, back and forth between the "focus and stigmators-x, y" a few times.  If everything is correct, you will suddenly see a focused image since the stigmators are perfect.

Give me your e-mail address I can provide you a brief outline of the operating procedures on s-4800.  I think it will help you in the long run if you just started to learn how to use the s-4800.  Good luck.
23楼2010-06-11 10:41:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

bengau

木虫 (正式写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
fe77021(金币+1):谢谢 2010-06-09 13:28:10
mhwu514(金币+1):谢谢讨论 2010-06-09 13:31:57
我在北师大做的4800的SEM,可以放大到11万倍没问题.
电压可以根据样品不同调节.

图像飘是不是样品导电不好?喷金试试.
还有调像散了吗?
2楼2010-06-09 11:04:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lvbo

金虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
学习啦
3楼2010-06-09 11:30:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wanghuifm

金虫 (正式写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
mhwu514(金币+1):谢谢讨论 2010-06-09 13:32:07
我也碰到过这个问题,导电性不是太好的样品做SEM事后,电压大一点,到一定的尺度图片就会飘起来。。。
4楼2010-06-09 11:50:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wjklw88

铁杆木虫 (职业作家)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
经常做SEM...可就是没操作过...
我相信,努力了肯定会有收获的!
5楼2010-06-09 11:55:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

长临河

铜虫 (正式写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
mhwu514(金币+1):谢谢讨论 2010-06-09 13:32:18
样品需要调节象散等...操作。
按照仪器操作说明来,
S4800放大到30万倍都可以。
6楼2010-06-09 13:08:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

赵春雨

金虫 (小有名气)

1Kv的工作距离太大了,如果还不可以,电压可以再调小一点啊

fe77021(金币+1):谢谢交流 2010-06-10 14:59:18
二次电子分辨率指标
• 1.0nm(15kV@WD=4mm)
• 1.4nm(1kV@WD=1.5mm 减速模式)
• 2.0nm (1kV@WD=1.5mm 普通模式)
放大倍率
×20~×800,000
电子枪
冷阴极场发射电子枪
加速电压
0.5~30kV(0.1kV/step,普通模式)着陆电压0.1~2.0kV(减速模
式)
nice
7楼2010-06-09 13:40:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xihuashida9682

木虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by 赵春雨 at 2010-06-09 13:40:51:
二次电子分辨率指标
• 1.0nm(15kV@WD=4mm)
• 1.4nm(1kV@WD=1.5mm 减速模式)
• 2.0nm (1kV@WD=1.5mm 普通模式)
放大倍率
×20~×800,000
电子枪
冷阴极场发射电子枪
加速电压
0.5~30 ...

这个电镜要多少钱啊?
8楼2010-06-09 13:51:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
9楼2010-06-09 14:25:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yuekong

至尊木虫 (文坛精英)

什么都有学问,学习了。
10楼2010-06-09 14:25:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 fe77021 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 085410人工智能专硕317求调剂(0854都可以) +4 xbxudjdn 2026-03-18 4/200 2026-03-20 09:07 by 不168
[考研] 085700资源与环境308求调剂 +8 墨墨漠 2026-03-18 8/400 2026-03-20 08:59 by lbsjt
[考研] 265求调剂 +6 梁梁校校 2026-03-17 6/300 2026-03-20 08:59 by ZHANG0tao
[考研] 一志愿吉林大学材料学硕321求调剂 +9 Ymlll 2026-03-18 12/600 2026-03-20 00:01 by 23Postgrad
[考研] 296求调剂 +3 www_q 2026-03-18 6/300 2026-03-19 22:28 by zhq0425
[考研] 生物学调剂招人!!! +3 山海天岚 2026-03-17 4/200 2026-03-19 21:34 by 怎么释怀
[考研] 材料考研调剂 +3 xwt。 2026-03-19 3/150 2026-03-19 11:22 by w沐阳w
[考研] 346求调剂[0856] +3 WayneLim327 2026-03-16 6/300 2026-03-19 11:21 by WayneLim327
[考研] 0703化学调剂,求各位老师收留 +10 秋有木北 2026-03-14 10/500 2026-03-19 05:52 by anny19840123
[考研] 一志愿西南交大,求调剂 +4 材化逐梦人 2026-03-18 4/200 2026-03-18 14:22 by 007_lilei
[考研] 304求调剂 +12 小熊joy 2026-03-14 13/650 2026-03-18 12:34 by Linda Hu
[考研] 0854,计算机类招收调剂 +3 胡辣汤放糖 2026-03-15 6/300 2026-03-18 12:09 by 上岸上岸……..
[考研] 299求调剂 +5 △小透明* 2026-03-17 5/250 2026-03-18 11:49 by 尽舜尧1
[考研] 材料,纺织,生物(0856、0710),化学招生啦 +3 Eember. 2026-03-17 9/450 2026-03-18 10:28 by Eember.
[考研] 环境工程调剂 +8 大可digkids 2026-03-16 8/400 2026-03-18 09:36 by zhukairuo
[考研] 材料工程专硕274一志愿211求调剂 +6 薛云鹏 2026-03-15 6/300 2026-03-17 11:05 by 学员h26Tkc
[考研] 一志愿南京大学,080500材料科学与工程,调剂 +4 Jy? 2026-03-16 4/200 2026-03-17 11:02 by gaoqiong
[考研] [导师推荐]西南科技大学国防/材料导师推荐 +3 尖角小荷 2026-03-16 6/300 2026-03-16 23:21 by 尖角小荷
[考研] 一志愿211 0703方向310分求调剂 +3 努力奋斗112 2026-03-15 3/150 2026-03-16 16:44 by houyaoxu
[考研] 080500,材料学硕302分求调剂学校 +4 初识可乐 2026-03-14 5/250 2026-03-14 21:08 by peike
信息提示
请填处理意见