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fe77021

金虫 (小有名气)

[交流] 【请教】请教扫描电镜调焦问题 已有28人参与

系里面买了一个日立s4800的场发射扫描电镜,按说此仪器很好,能够放到到10万倍应该没有问题。实际情况在放大2万倍左右很方便的拍出图片,可是一旦到5万倍图片就模糊不清楚,10万倍更是拍出图片不能用。在每次聚焦时候图形乱晃动,好像是聚焦不好的样子。现在害的我只能去外校一个最大放到2万倍的地方测扫描。有没有这方面有经验的虫友指教一下,谢谢啊!值得说明的是,我系s4800一般用电压1千伏,外校2万伏。不知道和这个有没有关系。上两张图,帮忙分析一下。这张是我系的:

这张外校的
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赵春雨

金虫 (小有名气)

1Kv的工作距离太大了,如果还不可以,电压可以再调小一点啊

fe77021(金币+1):谢谢交流 2010-06-10 14:59:18
二次电子分辨率指标
• 1.0nm(15kV@WD=4mm)
• 1.4nm(1kV@WD=1.5mm 减速模式)
• 2.0nm (1kV@WD=1.5mm 普通模式)
放大倍率
×20~×800,000
电子枪
冷阴极场发射电子枪
加速电压
0.5~30kV(0.1kV/step,普通模式)着陆电压0.1~2.0kV(减速模
式)
nice
7楼2010-06-09 13:40:51
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查看全部 32 个回答

bengau

木虫 (正式写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
fe77021(金币+1):谢谢 2010-06-09 13:28:10
mhwu514(金币+1):谢谢讨论 2010-06-09 13:31:57
我在北师大做的4800的SEM,可以放大到11万倍没问题.
电压可以根据样品不同调节.

图像飘是不是样品导电不好?喷金试试.
还有调像散了吗?
2楼2010-06-09 11:04:38
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wanghuifm

金虫 (正式写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
mhwu514(金币+1):谢谢讨论 2010-06-09 13:32:07
我也碰到过这个问题,导电性不是太好的样品做SEM事后,电压大一点,到一定的尺度图片就会飘起来。。。
4楼2010-06-09 11:50:31
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wjklw88

铁杆木虫 (职业作家)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
经常做SEM...可就是没操作过...
我相信,努力了肯定会有收获的!
5楼2010-06-09 11:55:13
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