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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 【请教】请教扫描电镜调焦问题
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fe77021

金虫 (小有名气)

[交流] 【请教】请教扫描电镜调焦问题 已有28人参与

系里面买了一个日立s4800的场发射扫描电镜，按说此仪器很好，能够放到到10万倍应该没有问题。实际情况在放大2万倍左右很方便的拍出图片，可是一旦到5万倍图片就模糊不清楚，10万倍更是拍出图片不能用。在每次聚焦时候图形乱晃动，好像是聚焦不好的样子。现在害的我只能去外校一个最大放到2万倍的地方测扫描。有没有这方面有经验的虫友指教一下，谢谢啊！值得说明的是，我系s4800一般用电压1千伏，外校2万伏。不知道和这个有没有关系。上两张图，帮忙分析一下。这张是我系的：

这张外校的
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1楼 2010-06-09 10:52:01
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

wtskjen

金虫 (小有名气)
★
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fe77021,  

Yes, most of the above comments are helpful.  Make sure that you have good conductivity as much as you can.   If you are using conductive carbon tape to secure your sample, you can add some silver/carbon paint at the edge of the sample to provide better conductivity.  You can even use the 0.5kV on Hitachi s-4800.   This is the beauty of the s-4800.  Not only that, you can change the beam current.  Most of the time Ie=15-20mA are used.  However, for your samplle, I will recommend that you can even reduce to 2-5mA to reduce the beam current/heat to avoid overheat/shift your sample.  Lower down the working distance (WD) will give you better resolution.

One more thing, you can change the pixels of the photo to enhance the image quality (1280 button vs 2560 button).  

After saying all of these, I would say the most important issues are the alignment and astigmatism control.  You might think you already adjusted the stigmators correctly but they are not.   After adjusting the focus, you need to go back to adjust the stigmators again, back and forth between the "focus and stigmators-x, y" a few times.  If everything is correct, you will suddenly see a focused image since the stigmators are perfect.

Give me your e-mail address I can provide you a brief outline of the operating procedures on s-4800.  I think it will help you in the long run if you just started to learn how to use the s-4800.  Good luck.
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23楼2010-06-11 10:41:25
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普通回帖

bengau

木虫 (正式写手)
★ ★
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fe77021(金币+1):谢谢 2010-06-09 13:28:10
mhwu514(金币+1):谢谢讨论 2010-06-09 13:31:57
我在北师大做的4800的SEM,可以放大到11万倍没问题.
电压可以根据样品不同调节.

图像飘是不是样品导电不好?喷金试试.
还有调像散了吗?
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2楼2010-06-09 11:04:38
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lvbo

金虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
学习啦
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3楼2010-06-09 11:30:36
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wanghuifm

金虫 (正式写手)
★ ★
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mhwu514(金币+1):谢谢讨论 2010-06-09 13:32:07
我也碰到过这个问题，导电性不是太好的样品做SEM事后，电压大一点，到一定的尺度图片就会飘起来。。。
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4楼2010-06-09 11:50:31
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wjklw88

铁杆木虫 (职业作家)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
经常做SEM...可就是没操作过...
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我相信,努力了肯定会有收获的!
5楼2010-06-09 11:55:13
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长临河

铜虫 (正式写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
mhwu514(金币+1):谢谢讨论 2010-06-09 13:32:18
样品需要调节象散等...操作。
按照仪器操作说明来，
S4800放大到30万倍都可以。
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6楼2010-06-09 13:08:55
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赵春雨

金虫 (小有名气)

1Kv的工作距离太大了，如果还不可以，电压可以再调小一点啊

fe77021(金币+1):谢谢交流 2010-06-10 14:59:18
二次电子分辨率指标
• 1.0nm(15kV@WD=4mm)
• 1.4nm(1kV@WD=1.5mm 减速模式）
• 2.0nm (1kV@WD=1.5mm 普通模式）
放大倍率
×20~×800,000
电子枪
冷阴极场发射电子枪
加速电压
0.5~30kV(0.1kV/step，普通模式）着陆电压0.1~2.0kV(减速模
式）
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nice
7楼2010-06-09 13:40:51
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xihuashida9682

木虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by 赵春雨 at 2010-06-09 13:40:51:
二次电子分辨率指标
• 1.0nm(15kV@WD=4mm)
• 1.4nm(1kV@WD=1.5mm 减速模式）
• 2.0nm (1kV@WD=1.5mm 普通模式）
放大倍率
×20~×800,000
电子枪
冷阴极场发射电子枪
加速电压
0.5~30 ...

这个电镜要多少钱啊？
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8楼2010-06-09 13:51:49
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Zegg
9楼2010-06-09 14:25:05
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yuekong

至尊木虫 (文坛精英)
什么都有学问，学习了。
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10楼2010-06-09 14:25:18
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