| 查看: 329 | 回复: 2 | |||
| 当前主题已经存档。 | |||
[交流]
液相外延实验讲义
|
|||
|
外延生长是半导体材料和器件制造的重要工艺。从饱和溶液中在单晶衬底上生长外延层的方法称液相外延（Liquid Phase Epitaxy，LPE）。例如，GaAs外延层就可从以Ga为溶剂、As为溶质的饱和溶液中生长出来。液相外延方法是在1963年由纳尔逊（Nelson）提出的。与其他外延技术相比，液相外延有以下优点： 1．生长设备比较简单； 2．生长速率快； 3．外延材料纯度比较高； 4．掺杂剂选择范围较广泛； 5．外延层的位错密度通常比它赖以生长的衬底要低； 6．成分和厚度都可以比较精确的控制，重复性好； 7．操作安全，没有汽相外延中反应气体和反应产物所造成的高毒、易燃、易爆和强腐蚀等危险。 |
回复此楼» 猜你喜欢
售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急
已经有5人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急
已经有6人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急
已经有5人回复
-
售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急
已经有5人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急
已经有7人回复
-
售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急
已经有6人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急
已经有6人回复
-
售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急
已经有6人回复
-
售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急
已经有5人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急
已经有6人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
1
 |
2楼2006-03-15 22:54:40
tanchengyu
铁杆木虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 7621.2
- 红花: 1
- 帖子: 706
- 在线: 100.1小时
- 虫号: 99090
- 注册: 2005-11-11
- 性别: GG
- 专业: 金属材料表面科学与工程
3楼2006-03-15 23:42:05
