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zgfbb

铁虫 (初入文坛)


[交流] 【求助】磁控溅射辉光为什么闪烁 已有5人参与

磁控溅射辉光为什么闪烁
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zgfbb

铁虫 (初入文坛)


我用的是直流溅射,电压340V,电流1.2A,辉光区域完整,气压是1Pa。当电流大于1.2A时辉光会闪烁。频率不知道多少
3楼2010-05-03 00:20:24
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ppttcug

木虫 (小有名气)

甲虫


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
具体一点。辉光是多大频率?你们用的是射频溅射吗?辉光区域完整吗?用的电压和气压是多少?
2楼2010-04-30 17:52:43
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tmxkzk

木虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
清理下靶材基座,再不行可能是磁场弱磁了
4楼2010-05-03 09:26:31
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apollonius

银虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
磁场不均匀,气压过高或过低都可能辉光不稳定
5楼2010-05-16 02:53:45
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