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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 【求助】磁控溅射辉光为什么闪烁
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zgfbb

铁虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】磁控溅射辉光为什么闪烁已有5人参与

磁控溅射辉光为什么闪烁
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1楼2010-04-30 13:41:16
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zgfbb

铁虫 (初入文坛)
我用的是直流溅射，电压340V，电流1.2A，辉光区域完整，气压是1Pa。当电流大于1.2A时辉光会闪烁。频率不知道多少
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3楼2010-05-03 00:20:24
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ppttcug

木虫 (小有名气)

甲虫
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
具体一点。辉光是多大频率？你们用的是射频溅射吗？辉光区域完整吗？用的电压和气压是多少？
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2楼2010-04-30 17:52:43
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tmxkzk

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
清理下靶材基座，再不行可能是磁场弱磁了
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4楼2010-05-03 09:26:31
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apollonius

银虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
磁场不均匀，气压过高或过低都可能辉光不稳定
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5楼2010-05-16 02:53:45
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