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zgfbb

铁虫 (初入文坛)


[交流] 【求助】磁控溅射辉光为什么闪烁 已有5人参与

磁控溅射辉光为什么闪烁
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zgfbb

铁虫 (初入文坛)


我用的是直流溅射,电压340V,电流1.2A,辉光区域完整,气压是1Pa。当电流大于1.2A时辉光会闪烁。频率不知道多少
3楼2010-05-03 00:20:24
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