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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【请教】AAO模板可不可以用来做掩膜板？
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didu

木虫 (小有名气)

[交流] 【请教】AAO模板可不可以用来做掩膜板？ 已有2人参与

今天铺PS球时，想到AAO模板可以用做喷金时的掩膜板吗？
这个问题其实是这样的：
1.AAO模板的孔是不是通的？
2.AAO模板是层薄膜吗？一般有多厚？
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1楼 2010-03-30 21:44:32
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315050870lk

捐助贵宾 (小有名气)
★
didu(金币+1):谢谢参与
引用回帖:
Originally posted by zhaohaixing at 2010-03-31 17:56:02:
AAO模板的孔是通着的，厚度并不是个定值！掩膜板其实就是一个遮挡的材料，让紫外或者等离子体能够通过其孔去刻蚀或者光刻有光刻胶的基底材料！所以从这个角度来考虑，AAO模板是可以作为掩膜板的！祝你实验成功！

好像一般的AAO模板是透明的，做光刻不知道能不能行
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12楼2011-03-10 09:25:43
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tangqw

至尊木虫 (职业作家)

教授
★ ★
didu(金币+1):谢谢参与
zhangwj(金币+1):谢谢应助 2010-03-30 22:25
1. AAO模版可以做成双通，也可以做成单通的。
2. AAO模版是氧化铝在铝片上的有序孔阵列，厚度根据你的合成时间和铝片的厚度决定。
赞一下(2人) 回复此楼
2楼2010-03-30 22:11:40
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zy150223

木虫 (小有名气)

自扰庸人
★
didu(金币+1):谢谢参与
估计不行吧，AAO的厚度一般到几个微米，由于扩散作用，一般都金颗粒都会附着到AAO的表面，估计效果不会很好的
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3楼2010-03-30 23:35:48
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yiluoyuyi

木虫 (小有名气)
★
didu(金币+1):谢谢参与
做掩模板对AAO的厚度要求挺高的，最好小于一个微米吧
赞一下(1人) 回复此楼
期待春暖花开
4楼2010-03-31 15:47:22
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