[交流] 【求助】四点探针法怎么测碳化硅的电阻已有1人参与

Originally posted by younie at 2010-09-17 23:44:02:


你这个四探针电阻率测试仪是测表面电阻的吧。这种测试仪测的探针周围的表面电阻，并且四个探针之间距离为1mm左右，感觉误差较大。
可以用四探针的电阻测定仪测定体积电阻，然后根据尺寸计算电阻率。我就是这 ...

Originally posted by tjumark at 2010-03-27 21:26:47:
四探针测定的是表面电阻，一般用于薄膜方块电阻的测定；对于后尺寸的块体试样和lz的高气孔率、高电阻试样，建议采用体积电阻测定仪器，可以用高阻仪或LCR databridge等。
另外，测试电极的制备也是很重要的。