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【请教】硅片的清洗
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jiangweijw
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金币: 203.4
帖子: 140
在线: 25.2小时
虫号: 815575
注册: 2009-07-25
性别:
MM
专业: 凝聚态物理
[交流]
【请教】硅片的清洗
已有49人参与
我用丙酮,酒精,去离子水依次超声清洗,可硅片吹干后清洗的不干净。请教:带二氧化硅层的硅片应如何清洗才能干净?
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1楼
2010-03-24 15:33:44
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冷月寒
铁杆木虫
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(幼儿园)
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在线: 326.7小时
虫号: 959892
注册: 2010-03-03
性别:
MM
专业: 凝聚态物性 II :电子结构
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小木虫(金币
+0.5
):给个红包,谢谢回帖交流
我们都超十五分钟。
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我就一粗人!
17楼
2010-09-07 11:01:57
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