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jiangweijw

铜虫 (小有名气)

[交流] 【请教】硅片的清洗 已有49人参与

我用丙酮,酒精,去离子水依次超声清洗,可硅片吹干后清洗的不干净。请教:带二氧化硅层的硅片应如何清洗才能干净?
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lizzy1221

木虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by plum8736 at 2010-03-24 15:50:01:
RCA标准清洗法是1965年由Kern和Puotinen 等人在N.J.Princeton的RCA实验室首创的,并由此而得名。RCA是一种典型的、至今仍为最普遍使用的湿式化学清洗法,该清洗法主要包括以下几种清洗液。
(1)SPM:H2SO4 /H2 ...

可不可以告知一下各清洗液内的配比呀?谢谢了
14楼2010-09-07 09:59:40
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