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[交流]
【讨论】微纳结构器件的制备方法种类 已有3人参与
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| 大家都使用什么方法制备微纳结构啊？结构尺寸多大？化学的物理的各种的，希望可以跟大家多学点方法，互相交流^_^ |
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fangjian318
木虫 (初入文坛)
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3楼2010-03-10 11:24:45
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jonas6126
金虫 (正式写手)
【薄幸的美人】
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器件需要什么性能吗？
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小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
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如果器件不需要特别的性能，激光微纳加工基本上什么都能满足了。 可以对金属，光刻胶（预聚物），透明介质等材料加工，材料范围很广泛； 分辨率现在可以达到14纳米，3年前的报道了。不过一般情况下不能达到那么小，当然一般也没必要，100 纳米很轻松的，如果加工条件和材料合适的话； 形状也是任意的，随便什么结构都可以，包括三维的。可以看看孙洪波老师发在nature的文章。 参考文献：http://www.nature.com/nature/jou ... /full/412697a0.html 个人浅见，仅供参考！ |
5楼2010-04-03 00:12:22
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