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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【讨论】微纳结构器件的制备方法种类
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)

[交流] 【讨论】微纳结构器件的制备方法种类 已有3人参与

大家都使用什么方法制备微纳结构啊？结构尺寸多大？化学的物理的各种的，希望可以跟大家多学点方法，互相交流^_^
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没有做不到只有想不到
1楼 2010-03-10 09:33:41
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)
自己先顶！我是使用光学光刻还有电子束光刻，另外就是自组装，制备微通道阵列还有微球阵列。但是光学光刻尺寸只可以做到微米级，电子束曝光没有条件，自组装制备微球阵列，做起来也很吃力。下一步打算使用激光刻蚀，但是，貌似制备的尺寸也比较大，还有其他的什么方法？我希望制备的尺寸范围在10nm~10um 当然越小越好了
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没有做不到只有想不到
2楼2010-03-10 09:37:35
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)
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Originally posted by fangjian318 at 2010-03-10 11:24:45:
我也在找简易的方法，我们没有光刻，只能刀刻了。

难道搞这个的人比较少么？怎么都没回帖啊 难过
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没有做不到只有想不到
4楼2010-03-11 08:56:28
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)
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Originally posted by jonas6126 at 2010-04-03 00:12:22:
如果器件不需要特别的性能，激光微纳加工基本上什么都能满足了。

可以对金属，光刻胶（预聚物），透明介质等材料加工，材料范围很广泛；
分辨率现在可以达到14纳米，3年前的报道了。不过一般情况下不能达到那 ...

非常感谢 我以为激光加工都比较粗糙啊 恩 我要好好研究研究 谢谢你 金币等我攒足了给你哦 嘿嘿
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没有做不到只有想不到
7楼2010-04-03 16:17:26
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)
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Originally posted by quanten at 2010-04-03 05:33:03:
自上而下或自上而上，前者以物理法为基础后者以化学气相沉积为基础

什么意思 啊？看不懂啊
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没有做不到只有想不到
8楼2010-04-03 16:31:06
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)
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Originally posted by 逐梦天涯 at 2010-04-06 19:23:30:
利用飞秒激光微加工确切的说是叫飞秒激光直写，尺寸控制在10μm比较容易做到，激光能量以及重复频率等的选择比较重要。一般尺寸更小的做的比较多的是以材料改性为基础的器件，比如纳米级别的光栅。做微流器件是属 ...

恩 我回仔细的再看看一些文章 谢谢你的指点
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没有做不到只有想不到
10楼2010-04-06 19:27:43
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