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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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糊涂的snow

兑换贵宾

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[交流] 【讨论】微纳结构器件的制备方法种类 已有3人参与

大家都使用什么方法制备微纳结构啊?结构尺寸多大?化学的物理的各种的,希望可以跟大家多学点方法,互相交流^_^
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没有做不到只有想不到
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糊涂的snow

主管区长

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!

自己先顶!我是使用光学光刻还有电子束光刻,另外就是自组装,制备微通道阵列还有微球阵列。但是光学光刻尺寸只可以做到微米级,电子束曝光没有条件,自组装制备微球阵列,做起来也很吃力。下一步打算使用激光刻蚀,但是,貌似制备的尺寸也比较大,还有其他的什么方法?我希望制备的尺寸范围在10nm~10um 当然越小越好了
没有做不到只有想不到
2楼2010-03-10 09:37:35
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fangjian318

专家顾问

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!


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我也在找简易的方法,我们没有光刻,只能刀刻了。
3楼2010-03-10 11:24:45
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糊涂的snow

超级版主

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!

引用回帖:
Originally posted by fangjian318 at 2010-03-10 11:24:45:
我也在找简易的方法,我们没有光刻,只能刀刻了。

难道搞这个的人比较少么?怎么都没回帖啊 难过
没有做不到只有想不到
4楼2010-03-11 08:56:28
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jonas6126

兑换贵宾

【薄幸的美人】

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器件需要什么性能吗?


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如果器件不需要特别的性能,激光微纳加工基本上什么都能满足了。

可以对金属,光刻胶(预聚物),透明介质等材料加工,材料范围很广泛;
分辨率现在可以达到14纳米,3年前的报道了。不过一般情况下不能达到那么小,当然一般也没必要,100 纳米很轻松的,如果加工条件和材料合适的话;
形状也是任意的,随便什么结构都可以,包括三维的。可以看看孙洪波老师发在nature的文章。

参考文献:http://www.nature.com/nature/jou ... /full/412697a0.html

个人浅见,仅供参考!
双燕双飞,双情相思,容色已改,故心不衰,双入幕,双出帏
5楼2010-04-03 00:12:22
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quanten

实习版主

QQ群(NW-FET): 157220400

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自上而下或自上而上,前者以物理法为基础后者以化学气相沉积为基础
6楼2010-04-03 05:33:03
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糊涂的snow

专家顾问

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!

引用回帖:
Originally posted by jonas6126 at 2010-04-03 00:12:22:
如果器件不需要特别的性能,激光微纳加工基本上什么都能满足了。

可以对金属,光刻胶(预聚物),透明介质等材料加工,材料范围很广泛;
分辨率现在可以达到14纳米,3年前的报道了。不过一般情况下不能达到那 ...

非常感谢 我以为激光加工都比较粗糙啊 恩 我要好好研究研究 谢谢你 金币等我攒足了给你哦 嘿嘿
没有做不到只有想不到
7楼2010-04-03 16:17:26
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糊涂的snow

版主

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!

引用回帖:
Originally posted by quanten at 2010-04-03 05:33:03:
自上而下或自上而上,前者以物理法为基础后者以化学气相沉积为基础

什么意思 啊?看不懂啊
没有做不到只有想不到
8楼2010-04-03 16:31:06
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逐梦天涯

版主

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
利用飞秒激光微加工确切的说是叫飞秒激光直写,尺寸控制在10μm比较容易做到,激光能量以及重复频率等的选择比较重要。一般尺寸更小的做的比较多的是以材料改性为基础的器件,比如纳米级别的光栅。做微流器件是属于激光烧蚀的
9楼2010-04-06 19:23:30
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糊涂的snow

主管区长

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!

引用回帖:
Originally posted by 逐梦天涯 at 2010-04-06 19:23:30:
利用飞秒激光微加工确切的说是叫飞秒激光直写,尺寸控制在10μm比较容易做到,激光能量以及重复频率等的选择比较重要。一般尺寸更小的做的比较多的是以材料改性为基础的器件,比如纳米级别的光栅。做微流器件是属 ...

恩 我回仔细的再看看一些文章 谢谢你的指点
没有做不到只有想不到
10楼2010-04-06 19:27:43
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