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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 光学材料 » 【求助】请问激光的光斑一般可以达到多少，nm级别可以吗？
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lunarey

铁杆木虫 (正式写手)
我们所做的是通过不同区域的光照来测量芯片的光电流，因此有分辨率的区别
芯片的材料和修饰不同，电子和空穴的迁移率不同，分辨率自然不同
芯片之间是没有引线连接的
我不是特别了解扫描电镜的原理，但这个分辨率和你理解的分辨率不是一个
概念。比如表面都是5nm的量子点，你用SEM看到都是5nm，对于我们来说，理论上芯片的分辨率是5nm，但实际上，量子点之间有一定的电子交换，有隧穿。
因此把实际的分辨率拉低了，可能是10nm或者100nm甚至1um。你不知道是
多少，还是需要不同大小的外场光去确定实际的分辨率。
不过非常感谢大家的讨论，我也学到了不少东西。
引用回帖:
Originally posted by GrasaVampiro at 2010-02-16 23:24:37:
"为了验证芯片的分辨率可以达到nm级别，需要照射光的光斑面积也是nm级别，否则无法证明最低分辨率"
芯片有分辨率可言？还是说线宽问题？如果要用远场光成像，那么这种方法基本是死路一条，看看Rayleig ...

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11楼2010-02-18 10:27:16
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GrasaVampiro

专家顾问 (职业作家)

微信XGBerlin

优秀版主
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
觉得是你叙述得不够清楚，你要是早把11楼的东西写到1楼，大家都少很多事
如果是因为保密的原因，不能详述，建议还是找内部有经验的人问。
如果你检测的东西类似ccd之类的，我看SNOM可能是唯一选择了，自己google一下吧
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从此不问江湖事
12楼2010-02-19 01:56:13
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