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lunarey铁杆木虫 (正式写手)
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[交流]
【求助】请问激光的光斑一般可以达到多少，nm级别可以吗？
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| 因为实验需要，为了验证芯片的分辨率可以达到nm级别，需要照射光的光斑面积也是nm级别，否则无法证明最低分辨率，我查看了一些文献，都是用激光加光路，构成1um的光斑。在不需要太多复杂仪器的范围内，光斑是否可以更小？或者现在的激光光斑就可以直接达到？多谢了。祝，新年快乐。 |
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5楼2010-02-15 11:21:36