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lunarey

铁杆木虫 (正式写手)

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专业: 敏感电子学与传感器

[交流] 【求助】请问激光的光斑一般可以达到多少，nm级别可以吗？

因为实验需要，为了验证芯片的分辨率可以达到nm级别，需要照射光的光斑面积也是nm级别，否则无法证明最低分辨率，我查看了一些文献，都是用激光加光路，构成1um的光斑。在不需要太多复杂仪器的范围内，光斑是否可以更小？或者现在的激光光斑就可以直接达到？多谢了。祝，新年快乐。

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1楼2010-02-14 11:41:39

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lunarey

铁杆木虫 (正式写手)

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我们所做的是通过不同区域的光照来测量芯片的光电流，因此有分辨率的区别
芯片的材料和修饰不同，电子和空穴的迁移率不同，分辨率自然不同
芯片之间是没有引线连接的
我不是特别了解扫描电镜的原理，但这个分辨率和你理解的分辨率不是一个
概念。比如表面都是5nm的量子点，你用SEM看到都是5nm，对于我们来说，理论上芯片的分辨率是5nm，但实际上，量子点之间有一定的电子交换，有隧穿。
因此把实际的分辨率拉低了，可能是10nm或者100nm甚至1um。你不知道是
多少，还是需要不同大小的外场光去确定实际的分辨率。
不过非常感谢大家的讨论，我也学到了不少东西。

引用回帖:

Originally posted by GrasaVampiro at 2010-02-16 23:24:37:
"为了验证芯片的分辨率可以达到nm级别，需要照射光的光斑面积也是nm级别，否则无法证明最低分辨率"
芯片有分辨率可言？还是说线宽问题？如果要用远场光成像，那么这种方法基本是死路一条，看看Rayleig ...