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lunarey铁杆木虫 (正式写手)
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【求助】请问激光的光斑一般可以达到多少,nm级别可以吗?
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| 因为实验需要,为了验证芯片的分辨率可以达到nm级别,需要照射光的光斑面积也是nm级别,否则无法证明最低分辨率,我查看了一些文献,都是用激光加光路,构成1um的光斑。在不需要太多复杂仪器的范围内,光斑是否可以更小?或者现在的激光光斑就可以直接达到?多谢了。祝,新年快乐。 |
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