| 查看: 838 | 回复: 7 | |||
| 当前主题已经存档。 | |||
| 【有奖交流】积极回复本帖子，参与交流，就有机会分得作者 floljf 的 3 个金币 | |||
[交流]
【交流】真空加热的几种方式
|
|||
|
我们知道真空镀膜中，温度是工艺的一个重要参数，而加热方式以及加热回路的设计对薄膜的均匀性，特别是大尺寸的薄膜，起着至关重要的作用，所以在此项诸位请教： 1）目前的真空加热方式由哪些？我所知道的有电阻丝，灯管，油加热（在镀膜工艺中貌似没有用到，有讲过的兄弟情指教），还有其他的加热方式吗？ 2）加热回路一般是什么样的？我的理解是要求对称设计，譬如同心圆，同心的矩形可以吗？或者说只要是满足中心对称回路（当然不考虑诸如正三角形）都是可以？也就是加热回路一般来说要满足什么要求？ 3）关于真空的加热，由于传热介质很少，那么传递的方式应该是辐射，那么影响热辐射的因素有哪些？ 请诸位大侠指教！ |
回复此楼» 猜你喜欢
085600 材料与化工 329分求调剂
已经有13人回复
-
一志愿南昌大学324求调剂
已经有4人回复
-
085601材料工程找调剂
已经有12人回复
-
求调剂
已经有4人回复
-
一志愿南航 335分 | 0856 | GPA 4.07 | 有科研经历
已经有7人回复
-
求调剂
已经有10人回复
-
化学工程085602 305分求调剂
已经有18人回复
-
一志愿双一流机械285分求调剂
已经有5人回复
-
一志愿：西北大学，英一数一408-284分求调剂
已经有4人回复
-
291求调剂
已经有5人回复
yinzhiminghao
铁杆木虫 (职业作家)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 5846.7
- 沙发: 2
- 帖子: 3446
- 在线: 97.8小时
- 虫号: 274540
- 注册: 2006-08-26
- 性别: GG
- 专业: 有机合成
2楼2010-01-28 07:02:31
qfw_68
版主 (文坛精英)
有尾巴的青蛙
- 应助: 120 (高中生)
- 贵宾: 0.414
- 金币: 85720.6
- 散金: 3020
- 红花: 212
- 沙发: 7684
- 帖子: 39484
- 在线: 4852.6小时
- 虫号: 797958
- 注册: 2009-06-24
- 性别: GG
- 专业: 自然语言理解与机器翻译
- 管辖: 有奖问答
3楼2010-01-28 08:25:06
waiwaide
至尊木虫 (职业作家)
- 应助: 28 (小学生)
- 金币: 13975.7
- 红花: 5
- 帖子: 3808
- 在线: 1039.2小时
- 虫号: 115469
- 注册: 2005-11-24
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
4楼2010-01-28 08:25:16
exciton-wu
木虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2373.8
- 散金: 99
- 红花: 2
- 帖子: 492
- 在线: 198.5小时
- 虫号: 389015
- 注册: 2007-06-01
- 专业: 凝聚态物理
★ ★ ★ ★ ★
floljf(金币+3):非常感谢兄台的回复！还请多多指教！可否留下了联系方式，进一步的联系。我的QQ：981467967，mail/MSN:floljf@gmail.com 2010-01-28 14:22
tongling921(金币+2):3x 2010-01-29 11:00
floljf(金币+3):非常感谢兄台的回复！还请多多指教！可否留下了联系方式，进一步的联系。我的QQ：981467967，mail/MSN:floljf@gmail.com 2010-01-28 14:22
tongling921(金币+2):3x 2010-01-29 11:00
|
在真空加热中，可以采用电阻加热，感应涡流加热，激光辐照加热等方式。传热基本采用辐射传热和传导传热。举例如下： 1.s形及S级联形状的金属板或石墨板作为加热电阻，热量通过辐射传给衬底或工件。 2.采用碳化硅包覆的石墨基座，在交变电场内靠感应涡流加热，热量可通过传导传给衬底。如果电场在真空罩外施加，要求真空罩为绝缘体。 3.大功率激光辐照加热。要求衬底对激光有较强的吸收。透明的衬底多采用背面先镀钛。 |
5楼2010-01-28 12:50:29
yiriyoltu
木虫 (著名写手)
ar_in_baraa
- 应助: 3 (幼儿园)
- 贵宾: 0.297
- 金币: 4441.5
- 散金: 1511
- 红花: 19
- 帖子: 2588
- 在线: 528.9小时
- 虫号: 809234
- 注册: 2009-07-15
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
6楼2010-01-28 15:20:54
元小雪
木虫 (职业作家)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 贵宾: 0.947
- 金币: 2216.5
- 散金: 2484
- 红花: 2
- 帖子: 3767
- 在线: 124.5小时
- 虫号: 471521
- 注册: 2007-12-01
- 性别: MM
- 专业: 物理/
7楼2010-01-28 17:51:51
waiwaide
至尊木虫 (职业作家)
- 应助: 28 (小学生)
- 金币: 13975.7
- 红花: 5
- 帖子: 3808
- 在线: 1039.2小时
- 虫号: 115469
- 注册: 2005-11-24
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
8楼2010-01-28 22:44:48
