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[交流]
【交流】真空加热的几种方式
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我们知道真空镀膜中，温度是工艺的一个重要参数，而加热方式以及加热回路的设计对薄膜的均匀性，特别是大尺寸的薄膜，起着至关重要的作用，所以在此项诸位请教： 1）目前的真空加热方式由哪些？我所知道的有电阻丝，灯管，油加热（在镀膜工艺中貌似没有用到，有讲过的兄弟情指教），还有其他的加热方式吗？ 2）加热回路一般是什么样的？我的理解是要求对称设计，譬如同心圆，同心的矩形可以吗？或者说只要是满足中心对称回路（当然不考虑诸如正三角形）都是可以？也就是加热回路一般来说要满足什么要求？ 3）关于真空的加热，由于传热介质很少，那么传递的方式应该是辐射，那么影响热辐射的因素有哪些？ 请诸位大侠指教！ |
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floljf(金币+3):非常感谢兄台的回复！还请多多指教！可否留下了联系方式，进一步的联系。我的QQ：981467967，mail/MSN:floljf@gmail.com 2010-01-28 14:22
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floljf(金币+3):非常感谢兄台的回复！还请多多指教！可否留下了联系方式，进一步的联系。我的QQ：981467967，mail/MSN:floljf@gmail.com 2010-01-28 14:22
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在真空加热中，可以采用电阻加热，感应涡流加热，激光辐照加热等方式。传热基本采用辐射传热和传导传热。举例如下： 1.s形及S级联形状的金属板或石墨板作为加热电阻，热量通过辐射传给衬底或工件。 2.采用碳化硅包覆的石墨基座，在交变电场内靠感应涡流加热，热量可通过传导传给衬底。如果电场在真空罩外施加，要求真空罩为绝缘体。 3.大功率激光辐照加热。要求衬底对激光有较强的吸收。透明的衬底多采用背面先镀钛。 |
5楼2010-01-28 12:50:29
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