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floljf

金虫 (正式写手)

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[交流] 【交流】真空加热的几种方式

我们知道真空镀膜中，温度是工艺的一个重要参数，而加热方式以及加热回路的设计对薄膜的均匀性，特别是大尺寸的薄膜，起着至关重要的作用，所以在此项诸位请教：
1）目前的真空加热方式由哪些？我所知道的有电阻丝，灯管，油加热（在镀膜工艺中貌似没有用到，有讲过的兄弟情指教），还有其他的加热方式吗？
2）加热回路一般是什么样的？我的理解是要求对称设计，譬如同心圆，同心的矩形可以吗？或者说只要是满足中心对称回路（当然不考虑诸如正三角形）都是可以？也就是加热回路一般来说要满足什么要求？
3）关于真空的加热，由于传热介质很少，那么传递的方式应该是辐射，那么影响热辐射的因素有哪些？
请诸位大侠指教！

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1楼2010-01-28 00:39:09

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exciton-wu

木虫 (正式写手)

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floljf(金币+3):非常感谢兄台的回复！还请多多指教！可否留下了联系方式，进一步的联系。我的QQ：981467967，mail/MSN:floljf@gmail.com 2010-01-28 14:22
tongling921(金币+2):3x 2010-01-29 11:00

在真空加热中，可以采用电阻加热，感应涡流加热，激光辐照加热等方式。传热基本采用辐射传热和传导传热。举例如下：
1.s形及S级联形状的金属板或石墨板作为加热电阻，热量通过辐射传给衬底或工件。
2.采用碳化硅包覆的石墨基座，在交变电场内靠感应涡流加热，热量可通过传导传给衬底。如果电场在真空罩外施加，要求真空罩为绝缘体。
3.大功率激光辐照加热。要求衬底对激光有较强的吸收。透明的衬底多采用背面先镀钛。