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heyuhit

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】通过化学反应蚀刻铜

Background:
在蒸镀上Cu(厚度约100nm)表面的部分区域电镀上Sn(通过光刻胶实现),其结果为,蒸镀的Cu仍部分裸露在外,其余部分为电镀上的Sn。

问题:
想要把仍然裸露在外的Cu用化学反应的方法蚀刻掉,但同时Sn完好无损(溶液不能与Sn反应)。什么样的溶液可以满足要求?


已经试过了4wt.%过硫酸钾溶液,结果不理想: 在Cu和Sn相接的区域,基本很难把Cu腐蚀掉。同时还不清楚该溶液是否腐蚀Sn。找了很久,没有找到有用的信息,可能也是找的地方不对,希望大家能帮忙,谢谢。
同时如果有其他版更适合,请斑竹建议。
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heyuhit

木虫 (著名写手)

2楼2010-01-28 17:09:27
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清水无痕209

木虫 (小有名气)

heyuhit(金币+1): 2010-01-28 20:11
很难,Sn比Cu活泼,在溶液中Sn会先反应的,形成原电池也会先腐蚀Sn的。
要快乐的消耗多多的空气!!
3楼2010-01-28 19:09:30
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945667195

木虫 (正式写手)

用氯化铁试试
快哉啸也风
4楼2010-01-28 19:59:26
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heyuhit

木虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by 清水无痕209 at 2010-01-28 19:09:30:
很难,Sn比Cu活泼,在溶液中Sn会先反应的,形成原电池也会先腐蚀Sn的。

有道理,我也是这么想的,往往Sn会更先腐蚀。
5楼2010-01-28 20:11:44
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