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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【交流】射频磁控溅射自偏压的作用
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yjyang07

木虫 (著名写手)

[交流] 【交流】射频磁控溅射自偏压的作用

射频磁控溅射自偏压的作用是什么？
我认为：离子（氩离子）轰击靶材的动能来自自偏压的加速，这就意味着加速电压
越大，离子动能越大，轰击速率就越快，沉积速率随之增加。
或者还有其他作用吗？？
大家怎么看？
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天行健，君子以自强不息～～～～～
1楼 2010-01-11 19:05:30
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taojujin

★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
自偏压是来自靶材还是衬底
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2楼2010-01-11 20:32:49
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yjyang07

木虫 (著名写手)
应该来源于靶材啊
因为功率是加在靶材上的
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天行健，君子以自强不息～～～～～
3楼2010-01-11 23:53:15
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
自偏压度数是来自于功率源还是直接从靶材上测量的？
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2010-01-11 23:58:09
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yjyang07

木虫 (著名写手)
★
tongling921(金币+1,VIP+0):3x 1-12 00:15
来自功率源
功率源上有显示的
赞一下(6人) 回复此楼
天行健，君子以自强不息～～～～～
5楼2010-01-12 00:03:02
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