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yjyang07木虫 (著名写手)
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[交流]
【交流】射频磁控溅射自偏压的作用
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射频磁控溅射自偏压的作用是什么? 我认为:离子(氩离子)轰击靶材的动能来自自偏压的加速,这就意味着加速电压 越大,离子动能越大,轰击速率就越快,沉积速率随之增加。 或者还有其他作用吗?? 大家怎么看? |
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2楼2010-01-11 20:32:49
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5楼2010-01-12 00:03:02












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