24小时热门版块排行榜    

CyRhmU.jpeg
查看: 833  |  回复: 4
当前主题已经存档。
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

yjyang07

木虫 (著名写手)

[交流] 【交流】射频磁控溅射自偏压的作用

射频磁控溅射自偏压的作用是什么?
我认为:离子(氩离子)轰击靶材的动能来自自偏压的加速,这就意味着加速电压
越大,离子动能越大,轰击速率就越快,沉积速率随之增加。
或者还有其他作用吗??
大家怎么看?
回复此楼
天行健,君子以自强不息~~~~~
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cord

铁杆木虫 (著名写手)



小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
自偏压度数是来自于功率源还是直接从靶材上测量的?
4楼2010-01-11 23:58:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答

taojujin


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
自偏压是来自靶材还是衬底
2楼2010-01-11 20:32:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yjyang07

木虫 (著名写手)

应该来源于靶材啊
因为功率是加在靶材上的
天行健,君子以自强不息~~~~~
3楼2010-01-11 23:53:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yjyang07

木虫 (著名写手)


tongling921(金币+1,VIP+0):3x 1-12 00:15
来自功率源
功率源上有显示的
天行健,君子以自强不息~~~~~
5楼2010-01-12 00:03:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复(可上传附件)
信息提示
请填处理意见