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yjyang07木虫 (著名写手)
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[交流]
【交流】射频磁控溅射自偏压的作用
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射频磁控溅射自偏压的作用是什么？ 我认为：离子（氩离子）轰击靶材的动能来自自偏压的加速，这就意味着加速电压 越大，离子动能越大，轰击速率就越快，沉积速率随之增加。 或者还有其他作用吗？？ 大家怎么看？ |
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yjyang07
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4楼2010-01-11 23:58:09