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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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liaomingjie

实习版主

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[交流] 【求助】请问各位哪里可以做深硅刻蚀?

实验室的设备用起有点力不从心,想问问各位哪里有没有好点的设备可以做比较好的深硅刻蚀?

[ Last edited by wdwsnnu on 2010-3-17 at 22:50 ]
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clhxgj

主管区长

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!

抢个沙发,试着回答,呵呵

★ ★
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mhwu514(金币+1,VIP+0):谢谢讨论 1-8 17:41
ICP等离子体刻蚀机(厦门大学好像有),Pegasus"全新离子反应式深硅刻蚀机(好像南京哪个大学有?)
2楼2010-01-08 16:50:11
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liaomingjie

版主

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引用回帖:
Originally posted by clhxgj at 2010-1-8 16:50:
ICP等离子体刻蚀机(厦门大学好像有),Pegasus"全新离子反应式深硅刻蚀机(好像南京哪个大学有?)

感谢兄弟  机器我也找到几个  不过最好是他们已经做过类似的深硅刻蚀实验  这样工艺参数就不用再摸索了  呵呵
3楼2010-01-10 22:59:04
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liaomingjie

兑换贵宾

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Pegasus倒是绝好的好东西
4楼2010-01-10 23:00:39
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dragonstar

实习版主

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小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
很多地方可以,你是哪的
5楼2010-03-03 16:43:50
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yugan2008

超级版主

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wdwsnnu(金币+1):谢谢讨论 2010-03-17 22:50
是有不少,我是上海的,一般在微系统所做...
小木
6楼2010-03-04 13:38:05
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echo200812

实习版主

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★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
wdwsnnu(金币+1):谢谢讨论 2010-03-17 22:50
北京大学微电子学研究所可做。并有成熟工艺参数可用。不过那边现在做这些事情比较麻烦,可同工艺线李婷老师或杨芳老师联系。
7楼2010-03-04 14:33:20
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liaomingjie

版主

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wdwsnnu(金币+1):很有礼貌啊 2010-03-17 22:50
感谢楼上的各位朋友,对我有很大的帮助
8楼2010-03-17 21:48:06
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