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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】请问各位哪里可以做深硅刻蚀？
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liaomingjie

[交流] 【求助】请问各位哪里可以做深硅刻蚀？

实验室的设备用起有点力不从心，想问问各位哪里有没有好点的设备可以做比较好的深硅刻蚀？

[ Last edited by wdwsnnu on 2010-3-17 at 22:50 ]
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1楼2010-01-08 11:24:51
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clhxgj

银虫 (小有名气)

抢个沙发，试着回答，呵呵

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
mhwu514(金币+1,VIP+0):谢谢讨论 1-8 17:41
ICP等离子体刻蚀机（厦门大学好像有），Pegasus"全新离子反应式深硅刻蚀机（好像南京哪个大学有？）
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2楼2010-01-08 16:50:11
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liaomingjie

引用回帖:
Originally posted by clhxgj at 2010-1-8 16:50:
ICP等离子体刻蚀机（厦门大学好像有），Pegasus"全新离子反应式深硅刻蚀机（好像南京哪个大学有？）

感谢兄弟  机器我也找到几个  不过最好是他们已经做过类似的深硅刻蚀实验  这样工艺参数就不用再摸索了  呵呵
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3楼2010-01-10 22:59:04
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liaomingjie

Pegasus倒是绝好的好东西
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4楼2010-01-10 23:00:39
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dragonstar

★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
很多地方可以，你是哪的
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5楼2010-03-03 16:43:50
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yugan2008

银虫 (初入文坛)
★
wdwsnnu(金币+1):谢谢讨论 2010-03-17 22:50
是有不少，我是上海的，一般在微系统所做...
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小木
6楼2010-03-04 13:38:05
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echo200812

木虫 (正式写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
wdwsnnu(金币+1):谢谢讨论 2010-03-17 22:50
北京大学微电子学研究所可做。并有成熟工艺参数可用。不过那边现在做这些事情比较麻烦，可同工艺线李婷老师或杨芳老师联系。
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7楼2010-03-04 14:33:20
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liaomingjie

★
wdwsnnu(金币+1):很有礼貌啊 2010-03-17 22:50
感谢楼上的各位朋友，对我有很大的帮助
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8楼2010-03-17 21:48:06
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